发明名称 |
硅基低漏电流固支梁浮动栅的RS触发器 |
摘要 |
本发明的硅基低漏电流固支梁浮动栅的RS触发器由两个与非门构成,每一个与非门由两个NMOS管(10)与一个电阻R串联组成,其中,第一与非门(①)的一个输入端接第二与非门(②)的输出端,第二与非门(②)的一个输入端接第一与非门(①)的输出端,第一输入信号(R)接第一与非门(①)中NMOS管(10)的固支梁浮动栅(4),第二输入信号(S)接第二与非门(②)中NMOS管(10)的固支梁浮动栅(4);整个RS触发器基于P型Si衬底(1)上制作,四个NMOS管(10)具有可以上下浮动的固支梁浮动栅(4),该RS触发器不仅结构简单、易于集成,而且还拥有低栅极漏电流、低直流功耗的优点。 |
申请公布号 |
CN104935299A |
申请公布日期 |
2015.09.23 |
申请号 |
CN201510379742.4 |
申请日期 |
2015.07.01 |
申请人 |
东南大学 |
发明人 |
廖小平;褚晨蕾 |
分类号 |
H03K3/012(2006.01)I;H03K3/02(2006.01)I |
主分类号 |
H03K3/012(2006.01)I |
代理机构 |
南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 |
代理人 |
杨晓玲 |
主权项 |
一种硅基低漏电流固支梁浮动栅的RS触发器,其特征在于该RS触发器由两个与非门构成,每一个与非门由两个NMOS管(10)与一个电阻R串联组成,其中,第一与非门(①)的一个输入端接第二与非门(②)的输出端,第二与非门(②)的一个输入端接第一与非门(①)的输出端,第一输入信号(R)接第一与非门(①)中NMOS管(10)的固支梁浮动栅(4),第二输入信号(S)接第二与非门(②)中NMOS管(10)的固支梁浮动栅(4);整个RS触发器基于P型Si衬底(1)上制作,四个NMOS管(10)具有可以上下浮动的固支梁浮动栅(4),该固支梁浮动栅(4)由Al制作,固支梁浮动栅(4)的两端固定在锚区(2)上,中间横跨在栅氧化层(9)上方,在固支梁浮动栅(4)下方有两个下拉电极(5),分布在锚区(2)与栅氧化层(9)之间,下拉电极(5)是接地的,其上还覆盖有氮化硅介质层(6),这种结构具有低漏电流、低功耗的巨大优点。 |
地址 |
211189 江苏省南京市江宁区东南大学路2号 |