一种硅片甩干机加热缸盖

摘要

本发明公开了一种硅片甩干机加热缸盖，包括有上盖和下盖，所述下盖可通过铰链连接在甩干机上，所下盖中心设置有加热管连接头，所述加热管连接头两侧均连接有加热管，所述上盖设置在下盖上方，所述上盖由加热板制成，所述加热板的上侧和侧边涂有保温层，所述加热板通过导线与加热电源电连，所述上盖的中部开有允许加热管通过的通孔，所述硅片甩干机加热缸盖，通过由加热板制成的上盖进一步提高甩干机内的温度，并可起到保温作用，提高了硅片甩干机的干燥效率，保证了硅片的干燥质量。

主权项

一种硅片甩干机加热缸盖，其特征在于：包括有上盖和下盖，所下盖中心设置有加热管连接头，所述加热管连接头两侧均连接有加热管，所述下盖通过铰链连接甩干机，所述上盖设置在下盖上方，所述上盖由加热板制成，所述加热板的上侧和侧边涂有保温层，所述加热板通过导线与加热电源电连，所述上盖的中部开有允许加热管通过的通孔。