等离子废气循环系统

摘要

本发明涉及一种等离子废气循环系统，尤其涉及一种在等离子产生装置中，经加工后而产生的一部分排出气体进行再利用的等离子废气循环系统。所述等离子废气循环系统包括：内部配置有等离子产生装置的空间室；末端与所述等离子产生装置连接，向所述等离子装置供气的供气管；一端与所述等离子产生装置连接的吸气管；与所述吸气管的另一端连接的气泵；一端与所述气泵连接，另一端连在所述供气管的首端与尾端之间的辅助供气管；与所述空间室连接，将所述空间室内的气体排出的排气口。所述空间室内的一部分气体，因所述气泵而被吸入所述吸气管，经过所述辅助供气管和所述供气管，再次供向所述等离子产生装置。

主权项

一种等离子废气循环系统，其特征在于：所述等离子废气循环系统包括：内部配置有等离子产生装置的空间室；末端与等离子产生装置连接，并向所述等离子装置供气的供气管；一端与所述等离子产生装置连接的吸气管；与所述吸气管的另一端连接的气泵；一端与所述气泵连接，另一端连在所述供气管的首端与尾端之间的辅助供气管；与所述空间室连接，将所述空间室内的气体排出的排气口；所述空间室内的一部分气体，因所述气泵而被吸入所述吸气管，经过所述辅助供气管和所述供气管，再次供向所述等离子产生装置；在所述供气管中，经首端流入的新气体与经所述辅助供气管供给的再使用气体混合，并供向所述等离子产生装置；还包括控制部，所述控制部由设置在所述供气管首端的开闭阀及设置在所述供气管和辅助供气管的连接部位与所述供气管的尾端之间的气体浓度测定感应器构成；所述控制部控制所述开闭阀的开闭及所述气泵的旋转数，使所述感应器测定的气体浓度与事先设定的值相符；在所述感应器测定的气体浓度较低时，所述控制部加大所述开闭阀的开放程度，并降低所述气泵的旋转数；在所述气体浓度较高时，所述控制部减小所述开闭阀的开放程度，并增加所述气泵的旋转数。