| 发明名称 | 发光二极管(LED)晶圆的前端划线以及结果器件 | ||
| 摘要 | 发光二极管(LEDs)的晶圆被激光划线以产生激光划线切口。随后，所述晶圆例如通过湿蚀刻而被清洗以减少划线损害。随后，在已被清洗的所述晶圆上形成用于所述LEDs的电触点层。可替代地，在触点形成之前可以由多个蚀刻产生所述划线切口。相关的LEDs也被描述。 | ||
| 申请公布号 | CN102668132B | 申请公布日期 | 2015.09.23 |
| 申请号 | CN201080035958.4 | 申请日期 | 2010.05.26 |
| 申请人 | 克里公司 | 发明人 | M·多诺弗里奥;W·T·帕克;M·J·伯格曼;S·S·吉尔摩尔;J·T·诺尔曼;K·S·施奈德 |
| 分类号 | H01L33/00(2006.01)I;H01L21/78(2006.01)I | 主分类号 | H01L33/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 方世栋;王忠忠 |
| 主权项 | 一种制造多个发光二极管(LEDs)的方法，包括：激光划线晶圆以产生激光划线切口，所述晶圆包括衬底和其上的LED外延区；在所述激光划线之后，清洗已被激光划线的所述晶圆以减少由所述激光划线对所述衬底的划线损害；在所述清洗之后，在已被清洗的所述晶圆上形成用于所述LED的电触点层；以及在所述形成所述电触点层之后，分割所述晶圆以产生所述多个发光二极管。 | ||
| 地址 | 美国北卡罗来纳州 | ||