太赫兹在片散射参数测量校准件

摘要

本实用新型公开了一种太赫兹在片散射参数测量校准件，涉及太赫兹器件散射参数测试装置技术领域。所述校准件包括衬底，所述衬底的上表面制作有一个直通标准件、一个反射标准件和至少一个传输线标准件，所述衬底的下表面制作有背面金属层，所述衬底作为整个校准件和被测件的共同衬底。所述校准件不仅可以解决衬底和被测件衬底不匹配的问题，提高了测量的精确度，还可以将校准后的参考平面移到管芯根部，不需要做去嵌入处理，并且采用共面波导结构还可以减小损耗。

主权项

一种太赫兹在片散射参数测量校准件，其特征在于：包括衬底（1），所述衬底（1）的上表面制作有一个直通标准件（2）、一个反射标准件（3）和至少一个传输线标准件（4），所述衬底（1）的下表面制作有背面金属层（5），所述衬底（1）作为整个校准件和被测件的共同衬底。