发明名称 |
一种阴极电弧源 |
摘要 |
本发明所提供的阴极电弧源,包括阴极底座,所述阴极底座的内侧壁上螺纹连接有永磁块,外侧壁上通过螺丝固定有法兰板,且所述法兰板在阴极底座的外侧接装有阳极筒,其中所述阴极底座与法兰板、以及阳极筒之间相互绝缘设置;所述阳极筒在背离所述法兰板的一侧装配有连接柱,并通过该连接柱接装有阳极罩;所述阴极底座上开设有水冷内腔,并在该水冷内腔的顶壁上通过卡环连接件卡接有靶材,且所述靶材贴合于阴极底座中水冷内腔的顶壁设置;所述顶壁设为具有弹性的隔膜板,并可在水冷内腔水压的作用下发生形变以贴合靶材。本发明确保了该阴极电弧源在使用过程中对靶材的充分冷却;同时也便于对靶材的更换,提高工作效率。 |
申请公布号 |
CN104928632A |
申请公布日期 |
2015.09.23 |
申请号 |
CN201510395575.2 |
申请日期 |
2015.07.03 |
申请人 |
中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
发明人 |
陈仁德;汪爱英;张栋;柯培玲;王丽 |
分类号 |
C23C14/32(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/32(2006.01)I |
代理机构 |
北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 |
代理人 |
郭晓华 |
主权项 |
一种阴极电弧源,包括阴极底座,所述阴极底座的内侧壁上螺纹连接有永磁块,外侧壁上通过螺丝固定有法兰板,且所述法兰板在阴极底座的外侧接装有阳极筒,其中所述阴极底座与法兰板、以及阳极筒之间相互绝缘设置;所述阳极筒在背离所述法兰板的一侧装配有连接柱,并通过该连接柱接装有阳极罩;其特征在于:所述阴极底座上开设有水冷内腔,并在该水冷内腔的顶壁上通过卡环连接件卡接有靶材,且所述靶材贴合于阴极底座中水冷内腔的顶壁设置;所述顶壁设为具有弹性的隔膜板,并可在水冷内腔水压的作用下发生形变以贴合靶材。 |
地址 |
315201 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号 |