一种介电泳粒子分选微流控芯片

摘要

本发明公开了一种介电泳粒子分选微流控芯片，首先利用微流控芯片软光刻工艺，得到具有一定形状的微通孔和微通道，结合镀液电磁阀的开启和闭合动作，实现微通道内壁的局部化学镀金或者镀银，形成镀层区域。镀层区域中的镀层电极与通电后的平面电极一起形成闭合的非匀强电场区域，在镀层电极上方通过形变控制电磁阀施加大小可变的电磁力，造成镀层电极的形变，导致非匀强电场区域的电场强度分布发生改变，并引起介电泳力分布的改变。本发明无需调节外加信号源改变外电场的幅值，而仅需通过控制形变控制电磁阀电磁力的大小，即可实现对非匀强电场区域的场强和电场分布的调整，实现对不同属性介电粒子的分选。

主权项

一种介电泳粒子分选微流控芯片，其特征在于所述微流控芯片包括平面电极层、微通道层和控制层；所述控制层位于微通道层之上，所述微通道层位于平面电极层之上；所述平面电极层包括电极衬底、平面电极和接线区；所述平面电极沉积于电极衬底上；所述接线区一端与平面电极连接，另一端外接电源；所述微通道层包括微通道和微通孔；所述微通孔包括镀液入口、镀液出口、分选溶液进样口和分选溶液出样口；所述微通道包括镀液微通道和分选溶液微通道；所述镀液微通道上配置有镀液电磁阀工位，所述分选溶液微通道上配置有分选溶液电磁阀工位；所述镀液微通道通过常规镀层技术镀层形成镀层区域；所述镀层区域具有镀层电极，镀层电极与通电后的平面电极一起形成闭合的非匀强电场区域；所述控制层包括控制层衬底、镀液电磁阀、分选溶液电磁阀和形变控制电磁阀；所述控制层衬底的作用是为镀液电磁阀、分选溶液电磁阀和形变控制电磁阀的安装进行定位；所述镀液电磁阀安装于镀液电磁阀工位上；所述分选溶液电磁阀安装于分选溶液电磁阀工位上；所述形变控制电磁阀置于镀层电极上，外接调节电源。