激光微束背部辐照芯片试验的聚焦平面定位装置及方法

摘要

本发明提供了激光微束背部辐照芯片试验的聚焦平面定位装置，用于对被测器件进行聚焦平面定位，所述装置包括试验用激光源(1)、聚焦光路调节模块(2)、成像CCD模块(3)、三维移动台(4)及三维移动台控制模块(5)；所述试验用激光源(1)用于发射固定参数的脉冲激光；所述聚焦光路调节模块(2)用于对所述试验用激光源(1)发射的脉冲激光进行调节；所述成像CCD模块(3)用于对被测器件的激光反射光斑进行成像；所述三维移动台(4)用于放置被测器件试验电路板；所述三维移动台控制模块(5)用于接收所述成像CCD模块(3)输出的反射光斑成像信号，进行成像对比度检测后形成反馈信号指令，自动调节所述三维移动台(4)的位置。

主权项

激光微束背部辐照芯片试验的聚焦平面定位装置，用于对被测器件进行聚焦平面定位，其特征在于，所述装置包括试验用激光源(1)、聚焦光路调节模块(2)、成像CCD模块(3)、三维移动台(4)及三维移动台控制模块(5)；所述试验用激光源(1)，用于发射固定参数的脉冲激光；所述聚焦光路调节模块(2)，用于对所述试验用激光源(1)发射的脉冲激光进行调节，使之成为试验用激光微束；所述成像CCD模块(3)，用于对被测器件的激光反射光斑进行成像，并输出反射光斑成像信号到所述三维移动台控制模块(5)；所述三维移动台(4)，用于放置被测器件试验电路板；所述三维移动台控制模块(5)，包括第一CCD成像处理单元和第一控制单元；所述第一CCD成像处理单元，用于接收所述成像CCD模块(3)输出的反射光斑成像信号，进行成像对比度检测后形成反馈信号指令，输出到所述第一控制单元；所述第一控制单元，用于接收所述第一CCD成像处理单元发送的反馈信号指令，形成方向和距离的移动控制信号，输出到所述三维移动台(4)，自动调节所述三维移动台(4)的位置，当调节到反射光斑的亮度最大值的位置时，完成扫描过程的聚焦平面定位。