一种磁性微位移平台式阶梯平面反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法

摘要

本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种磁性微位移平台式阶梯平面反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法，所述磁性微位移平台式阶梯平面反射镜激光干涉仪，包括有激光源、微动阶梯平面反射镜、干涉测量光电探测器组、移动平面反射镜、分光镜组和磁性微位移平台，所述激光源向所述分光镜组射出z束激光束，还包括有反射测量光电探测器组，所述第二激光束组在由所述移动平面反射镜射向所述分光镜组后还形成有反射激光束组，所述反射激光束组的各激光束分别射向一个所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪，根据反射激光束组的强度确定激光干涉光束的干涉状态，如此实现抗环境干扰的目的。

主权项

一种磁性微位移平台式阶梯平面反射镜激光干涉仪，包括有激光源、微动阶梯平面反射镜、干涉测量光电探测器组、移动平面反射镜、分光镜组和磁性微位移平台，所述微动阶梯平面反射镜设置在所述磁性微位移平台上，所述激光源向所述分光镜组射出z束激光束，其中z为大于或者等于2的正整数，所述干涉测量光电探测器组包括有z个干涉测量光电探测器，每一个干涉测量光电探测器与一束激光束相对应，所述微动阶梯平面反射镜的反射面包括有z个反射平面，z个所述反射平面呈阶梯型布置，每一个反射平面与一束激光束相对应，各激光束经所述分光镜组后分为第一激光束组和第二激光束组，所述第一激光束组射向所述微动阶梯平面反射镜，经所述微动阶梯平面反射镜反射后再次射向所述分光镜组，再经所述分光镜组后射向所述干涉测量光电探测器组，所述第二激光束组射向所述移动平面反射镜，经所述移动平面反射镜反射后再次射向所述分光镜组，经所述分光镜组后相对应的与射向所述干涉测量光电探测器组的第一激光束组发生干涉，形成干涉激光束组，干涉激光束组的各干涉光束分别射向各自对应的所述干涉测量光电探测器，其特征在于，所述磁性微位移平台式阶梯平面反射镜激光干涉仪还包括有反射测量光电探测器组，所述反射测量光电探测器组包括有z个反射测量光电探测器，所述第二激光束组在由所述移动平面反射镜射向所述分光镜组后还形成有反射激光束组，所述反射激光束组的各激光束分别对应的射向一个所述反射测量光电探测器；所述磁性微位移平台，包括有支撑平台和设置在所述支撑平台上的位移装置，所述支撑平台上设置有第一位移件，所述第一位移件与所述位移装置连接，所述位移装置带动所述第一位移件沿所述支撑平台运动，所述第一位移件具有一相对于其位移方向倾斜的斜面，所述第一位移件的斜面上滑动设置有第二位移件，所述第一位移件与第二位移件之间贴紧配合，所述支撑平台上还设置有约 束装置，所述约束装置限制所述第二位移件沿所述第一位移件位移方向上的运动，使得当第一位移件被所述位移装置带动而产生位移时，所述第二位移件被所述第一位移件带动而产生位移，所述第二位移件的位移方向与所述第一位移件的位移方向相垂直，所述第一位移件的斜面与其位移方向的夹角为A度，0＞A＞45，所述第一位移件与所述支撑平台之间还设置有具有磁性的磁性件，所述第二位移件具有磁性，所述第二位移件与所述磁性件为异性相吸状态，所述微动阶梯平面反射镜设置在所述第二位移件上，随第二位移件运动。