一种光伏电池的制造方法

摘要

本发明公开了一种光伏电池的制造方法，依次包括如下步骤：（1）提供基板；（2）在基板上依次形成第一透明导电层、非晶硅薄膜层、超晶格P型半导体层、第一非晶碳薄膜层、本征非晶硅半导体层；N型非晶硅半导体层；第二非晶碳薄膜层、第二透明导电层以及电极。

主权项

一种光伏电池的制造方法，依次包括如下步骤：(1)提供基板；(2)在基板上依次形成第一透明导电层、非晶硅薄膜层、超晶格P型半导体层、第一非晶碳薄膜层、本征非晶硅半导体层、N型非晶硅半导体层、第二非晶碳薄膜层、第二透明导电层以及电极；所述步骤(2)中，首先在第一透明导电层上沉积非晶硅；对非晶硅进行光刻，然后刻蚀该非晶硅，从而在非晶硅上刻蚀出凹槽，然后在凹槽中沉积非晶碳，使得非晶碳完全将凹槽填充满，接着对填充有非晶碳的非晶硅进行平坦化，使得非晶硅与非晶碳的上表面平坦化，从而分别形成非晶硅薄膜层、非晶硅材料层以及非晶碳材料层，其中非晶硅材料层与非晶碳材料层共同构成超晶格P型半导体层。