半导体装置的制造方法

摘要

所公开的发明的一种方式是一种半导体装置的制造方法，其包括如下步骤：形成第一绝缘膜；对第一绝缘膜进行氧掺杂处理来对第一绝缘膜供给氧；在第一绝缘膜上形成源电极、漏电极及与源电极及漏电极电连接的氧化物半导体膜；对氧化物半导体膜进行热处理以去除氧化物半导体膜中的氢原子；在氧化物半导体膜上形成第二绝缘膜；以及在第二绝缘膜上的与氧化物半导体膜重叠的区域上形成栅电极。利用该制造方法可以形成具有稳定的电特性及高可靠性的包括氧化物半导体的半导体装置。

主权项

一种制造半导体装置的方法，包括如下步骤：在衬底上形成第一绝缘膜；在所述第一绝缘膜上形成第二绝缘膜；对作为基底膜的所述第一绝缘膜和所述第二绝缘膜进行氧掺杂处理；在所述第二绝缘膜上形成源电极、漏电极以及氧化物半导体膜；在所述源电极、所述漏电极以及所述氧化物半导体膜上形成第三绝缘膜；以及在所述第三绝缘膜上形成与所述氧化物半导体膜重叠的栅电极，其中，所述基底膜的所述第二绝缘膜包含与所述氧化物半导体膜的成分相同的成分。