一种PVD真空离子镀膜机

摘要

本实用新型属于镀膜机技术领域，特别涉及一种PVD真空离子镀膜机，包括真空泵、镀膜箱体和转架，镀膜箱体设置有镀膜腔，真空泵与镀膜腔连通，转架设置于镀膜腔内，在对应转架位置的镀膜腔侧壁上设置有等离子体弧源。将需要镀膜的工具模具放置在转架上，开启真空泵使腔体达到真空镀膜状态，进而开启镀膜腔内的等离子体弧源工作，从而实现对转架上的工具模具进行镀膜；本实用新型的结构简单、镀膜效果理想、维护难度小。

主权项

一种PVD真空离子镀膜机，其特征在于：包括真空泵、镀膜箱体和转架，所述镀膜箱体设置有镀膜腔，所述真空泵与所述镀膜腔连通，所述转架设置于所述镀膜腔内，在对应所述转架位置的所述镀膜腔侧壁上设置有等离子体弧源。