发明名称 |
一种量测工具 |
摘要 |
本实用新型涉及半导体量测领域,尤其涉及一种量测工具。本实用新型使用一种新的量测工具,包括两个角度相同的直角三角形锥体,第一直角三角形锥体由于固定杆的限位只能在垂直方向上运动,第二直角三角形锥体同样由于固定杆的限制,只能水平运动,且第二直角三角形锥体连接一带有刻度的拉杆,通过拉杆运动的刻度可以得出第一直角三角形椎体上升的高度,从而精确的得到高度值,为高度调整提供直观的位置参照,提高工作效率和质量。 |
申请公布号 |
CN204666069U |
申请公布日期 |
2015.09.23 |
申请号 |
CN201520210815.2 |
申请日期 |
2015.04.09 |
申请人 |
武汉新芯集成电路制造有限公司 |
发明人 |
詹云 |
分类号 |
G01B5/02(2006.01)I |
主分类号 |
G01B5/02(2006.01)I |
代理机构 |
上海申新律师事务所 31272 |
代理人 |
吴俊 |
主权项 |
一种量测工具,其特征在于,包括底板,具有一水平表面,且该底板之上设置有与所述水平表面垂直的固定杆;第一直角三角形锥体,套设于所述固定杆上,以使得该第一直角三角形锥体能够沿所述固定杆垂直于所述水平表面方向往复运动;第二直角三角形椎体,设置在所述第一直角三角形锥体与所述底板之间,且该第二直角三角形锥体的斜面与第一直角三角形锥体的斜面贴合;其中,所述第二直角三角形椎体平行于所述水平面进行运动,以驱动所述第一直角三角形椎体沿所述固定杆垂直于所述水平表面并远离该水平表面方向运动。 |
地址 |
430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号 |