贴合器件的制造装置

摘要

本发明提供一种在变压室或贯穿孔与交接部件之间不使用密封部件就能够使交接部件无接触且无限制地移动的密封结构。本发明中，向变压室(1)搬入工件时，通过控制部(7)使闭锁部件(6)进行打开移动，从而使变压室(1)的贯穿孔(12)开口，由此交接部件(5)变得能够移动，以交接部件(5)接收第一工件(W1)或第二工件(W2)中的任意一方或双方，并且从交接部件(5)交接到第一保持部件(2)或第二保持部件(3)中的任意一方或双方。之后，通过控制部(7)从变压室(1)的贯穿孔(12)拔出交接部件(5)之后，闭锁部件(6)进行关闭移动而使贯穿孔(12)以气密状闭锁，由此能够将变压室(1)减压至成为高度真空状态，第一工件(W1)与第二工件(W2)被贴合。

主权项

一种贴合器件的制造装置，将被搬入到变压室的第一工件及第二工件分别交接到第一保持部件及第二保持部件，并在被减压的所述变压室中使所述第一保持部件或所述第二保持部件中的任意一方或双方相对地靠近移动，来贴合所述第一工件与所述第二工件，所述贴合器件的制造装置的特征在于，具备：所述变压室，取放自如地容纳所述第一工件及所述第二工件；所述第一保持部件及所述第二保持部件，设置成在所述变压室中朝向工件贴合方向彼此相对；贴合用驱动部，使所述第一保持部件或所述第二保持部件中的任意一方或双方以向所述工件贴合方向相对地靠近或远离的方式移动；工件交接用的交接部件，设置成穿过设置于所述变压室的贯穿孔而向所述工件贴合方向移动自如；闭锁部件，设置成以气密状地开闭所述变压室的所述贯穿孔的方式移动自如；及控制部，分别对所述贴合用驱动部、所述交接部件的交接用驱动部及所述闭锁部件的闭锁用驱动部进行动作控制，所述控制部控制为，在搬入工件时使所述闭锁部件进行打开移动，以使所述贯穿孔开口，并且为了交接工件而移动所述交接部件，在贴合工件时，从所述贯穿孔拔出所述交接部件，并使所述闭锁部件进行关闭移动，以使所述贯穿孔被以气密状闭锁。