| 摘要 |
<p>본 발명의 일 실시형태에 따르면, 전극 어셈블리의 하나 이상의 유체 플레넘들을 세정하는 방법이 제공된다. 본 방법에 따르면, 유체 플레넘과 연통하는 복수의 유체 포트들이 분리되고, 플레넘 입력 포트들 및 플레넘 출력 포트들의 각각의 세트들로 구별된다. 입력 및 출력 포트들은 각각의 세정 유체 커플링들과 인게이지된다. 세정 유체는, 플레넘 입력 및 출력 포트들에 걸쳐 유체 압력 차이 ΔP = P- P를 생성함으로써, 유체 플레넘을 통해 안내된다. 압력 차이 ΔP 는 세정 유체 공급 덕트로부터 유체 플레넘을 통해 세정 유체 폐기 덕트로 세정 유체를 강제하기에 충분히 크다. 추가적인 실시형태들이 개시되고 청구된다.</p> |
