PM2.5检测装置及其制造方法

摘要

本发明涉及一种PM2.5检测装置及其制造方法，其包括用于将所需定量空气中大于2.5μm的颗粒过滤去除的颗粒分离机构以及用于对所述定量空气中PM2.5含量实施检测的PM2.5检测机构，所述颗粒分离机构的出口端与PM2.5检测机构的入口端连接，所述PM2.5检测机构包括检测腔体，所述检测腔体的外侧设置检测光源及光探测器，检测光源发出的光线通过检测腔体上的光入射窗口进入检测腔体内，光探测器通过检测腔体上的光出射窗口接收检测腔体内经PM2.5颗粒吸收、散射后的出射光线，所述光探测器根据出射光线的强度确定并输出PM2.5的浓度值。本发明与常规MEMS工艺相兼容，工艺简单方便，可提高PM2.5检测的精度及有效性，小型化的结构使其具有便携性和实时检测的特点，适应范围广，安全可靠。

主权项

一种PM2.5检测装置，其特征是：包括用于将所需定量空气中大于2.5μm的颗粒过滤去除的颗粒分离机构（A）以及用于对所述定量空气中PM2.5含量实施检测的PM2.5检测机构（B），所述颗粒分离机构（A）的出口端与PM2.5检测机构（B）的入口端连接，所述PM2.5检测机构（B）包括检测腔体（18），所述检测腔体（18）的外侧设置检测光源（20）及光探测器（21），检测光源（20）发出的光线通过检测腔体（18）上的光入射窗口（22）进入检测腔体（18）内，光探测器（21）通过检测腔体（18）上的光出射窗口（23）接收检测腔体（18）内经PM2.5颗粒吸收、散射后的出射光线，所述光探测器（21）根据出射光线的强度确定并输出PM2.5的浓度值；所述颗粒分离机构（A）包括颗粒分离机构框体（1），所述颗粒分离机构框体（1）内的一端设置空气入口（3），另一端设置空气出口（17），所述空气出口（17）通过降尘室机构与空气入口（3）相连通；所述降尘室机构包括第一级降尘室（5）、第二级降尘室（9）及第三级降尘室（13），所述第一级降尘室（5）的上方设置第一级挡尘板（6），第二级降尘室（9）的上方设置第二级挡尘板（10），第三极降尘室（13）的上方设置第三级挡尘板（14），所述第一级挡尘板（6）、第二级挡尘板（10）及第三级挡尘板（14）与空气入口（3）相对应，第一级挡尘板（6）与第一级降尘室（5）及第二级降尘室（9）的结合部形成第一级挡尘间隙（7），第二级挡尘板（10）与第二级降尘室（9）及第三级降尘室（13）的结合部形成第二级挡尘间隙（11），第三级挡尘板（14）与颗粒分离机构框体（1）间形成第三级挡尘间隙（15），所述第三级挡尘间隙（15）与空气出口（17）相连通，第三级挡尘间隙（15）的尺寸不大于2.5μm；所述颗粒分离机构框体（1）内的下部设置液体流道（2），所述液体流道（2）沿空气入口（3）指向空气出口（17）的方向分布，并贯通所述颗粒分离机构框体（1）；液体流道（2）分别通过第一级入液口（8）、第二级入液口（12）及第三级入液口（16）与第一级降尘室（5）、第二级降尘室（9）及第三级降尘室（13）相连通。