一种太阳能电池干法制绒工艺用的反应腔的腔体结构

摘要

本发明涉及太阳能电池片制造装备、等离子刻蚀、真空反应腔技术领域，尤其是一种太阳能电池干法制绒工艺用的反应腔的腔体结构。腔体主体由多块不锈钢板材拼装焊接而成，不锈钢板材的表面喷镀特氟龙涂层，特氟龙涂层表面镶嵌可拆卸的铝合金内衬铠装板。特氟龙涂层为PTFE，PFA，或FEP材料。所述不锈钢板材表面经过喷砂处理。铝合金内衬铠装板为铝板或者表面经过深度阳极氧化处理的铝内衬铠装板。本发明降低了加工难度，减少了交工费用；在承受大型腔体的真空压力下变形小；拆装方便，可有效解决反应腔与门阀和其他腔体联结困难的问题；铝合金内衬铠装板具有耐化学腐蚀，能有效阻挡高能粒子对涂层的轰击，并且不会对硅片造成金属离子污染。

主权项

一种太阳能电池干法制绒工艺用的反应腔的腔体结构，其特征是，该腔体主体由多块不锈钢板材拼装焊接而成，不锈钢板材的表面喷镀特氟龙涂层，特氟龙涂层表面镶嵌可拆卸的铝合金内衬铠装板。