一种可同时感应湿度和气体的柔性有机薄膜电容传感器

摘要

本实用新型提供的一种可同时感应湿度和气体的柔性有机薄膜电容传感器，其结构如图1所示，包括衬底(1)、下电极(2)、湿度敏感层(3)、气体敏感层(4)、两个介质层(501、502)和两个上电极(601、602)；该传感器中，构成衬底的材料为PET；构成下电极的材料为ITO；构成湿度敏感层的材料为聚酰亚胺或聚甲基丙烯酸甲酯；构成气体敏感层的材料为丙基-三甲氧基硅烷或3-二乙基氨丙基-三甲氧基硅烷；构成介质层的材料为绝缘有机物，分别位于气体敏感层的两侧，中间部分暴露在外部；构成两个上电极的材料为金属金，分别位于两个介质层之上。

主权项

一种可同时感应湿度和气体的柔性有机薄膜电容传感器，其特征在于，包括衬底(1)、下电极(2)、湿度敏感层(3)、气体敏感层(4)、两个介质层(501、502)和两个上电极(601、602)；其中：下电极覆盖于衬底之上，湿度敏感层覆盖于下电极之上，气体敏感层覆盖于湿敏材料层之上；两个介质层分别位于气体敏感层的两侧，中间部分暴露在外部；两个上电极分别位于两个介质层之上。