| 发明名称 | 一种倒装键合设备中用于各向异性导电胶的热压装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种倒装键合设备中用于各向异性导电胶的热压装置，用于倒装键合设备中对导电胶进行热压，其特征在于，该热压装置包括：压头组件（2），用于对导向胶进行热压；导向组件（1），其设置在一支撑基座（4）上，所述压头组件（2）设置在该导向组件（1）上，所述压头组件（2）通过该导向组件（1）进行导向移动以完成热压；驱动组件（5），其设置在所述导向组件（1）一侧，用于驱动所述导向组件（1）直线移动，以实现其对压头组件（2）的导向移动。本发明的装置能够方便的实现热压工艺中的热压过程，并且具备压力稳定性和精度好，热压的精度高，结构紧凑等优点。 | ||
| 申请公布号 | CN103280412B | 申请公布日期 | 2015.09.23 |
| 申请号 | CN201310095073.9 | 申请日期 | 2013.03.22 |
| 申请人 | 华中科技大学 | 发明人 | 陶波;朱钦淼;程小明;潘卫进;薛天骋;汤朋朋;罗冲;冯梦丹;洪洋;胡越;周鹏;张阳 |
| 分类号 | H01L21/603(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/603(2006.01)I |
| 代理机构 | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人 | 李佑宏 |
| 主权项 | 一种热压装置，用于倒装键合设备中对导电胶进行热压，其特征在于，该热压装置包括：压头组件(2)，用于对导电胶进行热压；导向组件(1)，其设置在一支撑基座(4)上，所述压头组件(2)设置在该导向组件(1)上，所述压头组件(2)通过该导向组件(1)进行导向移动以完成热压；驱动组件(5)，其设置在所述导向组件(1)一侧，用于驱动所述导向组件(1)直线移动，以实现其对压头组件(2)的导向移动；其中，所述的导向组件(1)包括用作支撑架的U型板(102)和可随该U型板(102)移动的转接板(103)，所述压头组件(2)与所述转接板(103)连接，所述驱动组件(5)通过驱动所述U型板(102)和转接板(103)移动，进而实现驱动所述压头组件(2)移动。 | ||
| 地址 | 430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号 | ||