| 发明名称 | 基板载体配置与夹持基板的方法 | ||
| 摘要 | 提供一种基板载体配置，用以夹持具有将被处理的基板表面的基板。基板载体配置包括第一基板载体板(201)与第二基板载体板(202)。第二基板载体板(202)用以覆盖提供在第一基板载体板(201)中的开口(203)。基板(101)夹持在第一基板载体板(201)与第二基板载体板(202)之间，使得将被处理的基板表面(102)透过开口(203)露出以进行处理。 | ||
| 申请公布号 | CN104937135A | 申请公布日期 | 2015.09.23 |
| 申请号 | CN201380070954.3 | 申请日期 | 2013.01.28 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | C-C·杨;A·布吕宁;R·欣特舒斯特;S-H·林;C-H·林 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/50(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 黄嵩泉 |
| 主权项 | 一种基板载体，用于夹持基板并用于该基板的真空处理，该基板具有将被处理的基板表面，该基板载体包括：第一板，具有至少一个开口；以及第二板，用以至少部分地覆盖该第一板且特别用以至少部分地覆盖该第一板的该开口，其中该基板能夹持在该第一板与该第二板之间，且将被处理的该基板表面透过该开口露出以进行处理。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||