EUV光源放电电极的液态金属高效冷却方法与装置

摘要

EUV光源放电电极的液态金属高效冷却方法与装置，属于高温发热装置冷却领域，为解决现有技术存在的整套水冷装置较大，会对EUV光源造成损害的问题，将EUV光源的放电电极安装在散热基底上，包层管道安装在散热基底内，包层管道采取全封闭模式，包层管道通入液态金属，隔热板将散热基底与电扇隔开；采用电磁泵利用电磁场对液态金属进行循环流动驱动；电扇对液态金属进行强对流散热，将热量排到光源外部，完成整个冷却过程本发明减小冷却系统的体积，减少系统的机械振动，延长放电电极的使用寿命。

主权项

用于EUV光源放电电极的液态金属高效冷却装置，其包括电扇(1)、包层管道(2)、隔热板(3)、散热基底(4)、液态金属(5)和电磁泵(6)，其特征是，DPP‑EUV光源的放电电极安装在散热基底(4)上；包层管道(2)安装在散热基底(4)内，包层管道(2)内采取全封闭模式，包层管道(2)通入液态金属(5)；电磁泵(6)设置在包层管道(2)的一端，液态金属(5)的循环流动动力由电磁泵(6)提供，隔热板(3)将散热基底(4)与电扇(1)隔开，电扇(1)对液态金属(5)进行强对流散热。