发明名称 |
一种MOM电容器及电容调整方法 |
摘要 |
本发明涉及电容器领域,尤其涉及一种MOM电容器及电容调整方法,在每层金属层的第一电极和第二电极连接一电压开关装置,通过控制电压开关装置施加到每层金属层的第一电极和第二电极上的电压的正负极性,改变连接在所述第一电极一侧的第一电极叉指和连接在所述第二电极一侧的第二电极叉指的正负极性,以实现行方向上各电极叉指的正负极性交替间隔排列,列方向上各电极叉指的正负极性混合排列,来精细调整MOM电容器的电容。该方法节省电容调整成本,能够实现调整后MOM电容器的电容值与目标值相差小于5%,以使得模拟电路更加精准。 |
申请公布号 |
CN104934410A |
申请公布日期 |
2015.09.23 |
申请号 |
CN201510237651.7 |
申请日期 |
2015.05.08 |
申请人 |
武汉新芯集成电路制造有限公司 |
发明人 |
鞠韶复 |
分类号 |
H01L23/522(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/522(2006.01)I |
代理机构 |
上海申新律师事务所 31272 |
代理人 |
吴俊 |
主权项 |
一种MOM电容器,其特征在于,包括:多层相互平行叠置的金属层,且每层所述金属层中均包括第一电极、分别与该第一电极连接的若干第一电极叉指、第二电极以及分别与该第二电极连接的若干第二电极叉指;绝缘介质层,所述金属层均嵌入设置于该绝缘介质层中,以将各所述金属层之间、位于同一所述金属层中的第一电极与第二电极之间均予以隔离;电压开关装置,分别与每层金属层中的所述第一电极和所述第二电极连接;其中,利用所述电压开关装置调整每个所述第一电极和/或每个所述第二电极的正负极性,以调整所述电容器的电容值。 |
地址 |
430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号 |