一种圆形分布的凸台表面结构的可控温加热盘

摘要

一种圆形分布的凸台表面结构的可控温加热盘，主要解决现有的加热盘及静电卡盘所存在的无法快速、准确控制晶圆温度的问题。它包括中心设有进气孔的加热盘。所述加热盘的表面设有凸台；所述加热盘的外圆制有气体回收孔。上述加热盘表面的凸台是按同心圆形规律分布的；上述凸台的尺寸从中间至边缘逐渐减小。在凸台与凸台的间隙形成导热介质的流动空间，从中间输送到加热盘的边缘区域带走热量，冷却后的气体会再次从加热盘中心流入，以实现导热介质的循环流动，达到精确控制晶圆温度的目的。

主权项

一种圆形分布的凸台表面结构的可控温加热盘，其特征在于：它包括中心设有进气孔的加热盘，所述加热盘的表面设有凸台；所述加热盘的外圆制有气体回收孔3。