用于硬掩模组合物的单体和包含此单体的硬掩模组合物及使用硬掩模组合物形成图案的方法

摘要

本发明提供一种由以下化学式1表示的用于硬掩模组合物的单体、一种包含所述单体的硬掩模组合物以及一种使用所述硬掩模组合物形成图案的方法。[化学式1]A、B、B'、L、L'、X以及X'与具体实施方式中所定义的相同。基于此，本发明提供的单体具有改良的耐热性和抗蚀刻性。

主权项

一种用于硬掩模组合物的单体，其中，由以下化学式1表示：[化学式1]其中，在所述化学式1中，A、B以及B'独立地为经取代或未经取代的脂肪族环状基团或芳香族环状基团，L以及L'独立地为‑C(＝O)NH‑、‑C(＝O)O‑或‑C(H)＝N‑，X以及X'独立地为氢、卤素原子、羟基、亚硫酰基、硫醇基、氰基、经取代或未经取代的氨基、经取代或未经取代的C1到C20烷基胺基、经取代或未经取代的C1到C20醛基、经取代或未经取代的羧基或其组合，以及Y以及Y'独立地为氢、卤素原子、羟基、亚硫酰基、硫醇基、氰基、经取代或未经取代的氨基、经取代或未经取代的C1到C30烷基、经取代或未经取代的C3到C30环烷基、经取代或未经取代的C6到C30芳基、经取代或未经取代的C3到C30环烯基、经取代或未经取代的C1到C20烷基胺基、经取代或未经取代的C7到C20芳烷基、经取代或未经取代的C1到C20杂烷基、经取代或未经取代的C2到C30杂环烷基、经取代或未经取代的C2到C30杂芳基、经取代或未经取代的C1到C30烷氧基、经取代或未经取代的C2到C30烯基、经取代或未经取代的C2到C30炔基、经取代或未经取代的C1到C20醛基、经取代或未经取代的C1到C4烷基醚、经取代或未经取代的C7到C20亚芳基烷基醚、经取代或未经取代的C1到C30卤烷基或其组合。