主权项 |
一种重力吸型离线式自动过滤系统,用以提供一研磨液给至少一研磨系统,包括有: 一供给桶,该供给桶盛装该研磨液; 一给液管路,该给液管路的两端连接该供给桶; 一给液泵,该给液泵设于该给液管路,并加压让该给液管路循环汲取该研磨液; 至少一分流阀,该至少一分流阀设于该给液管路,并连接该至少一研磨系统; 一过滤管路,该过滤管路具有一入口端与一出口端,该入口端与该出口端分别连接该供给桶,且该入口端的高度低于该供给桶,并承接该研磨液进入该过滤管路; 一过滤单元,该过滤单元设于该过滤管路,且具有一加压泵与过滤该研磨液的一过滤筒,该过滤筒供安装一滤心,该加压泵加压让该研磨液通过该过滤筒,以经过该滤心的过滤,且由该出口端进入该供给桶。 |