硬遮罩组成物用单体及包含该单体之硬遮罩组成物，以及使用该硬遮罩组成物形成图案的方法

主权项

一种由下列的化学式1表示的硬遮罩组成物用单体：
其中于化学式1内，A1至A3各自独立为经取代或未经取代的脂肪族环系基团或芳族环系基团，X1和X2各自独立为C=O、NRa、氧(O)、硫(S)，或其等之组合，其中Ra为氢、经取代或未经取代的C1至C10烷基基团、羟基基团、卤素原子、含卤素基团，或其等之组合，L1和L2各自独立为单键、经取代或未经取代的C1至C20伸烷基(alkylene)基团、经取代或未经取代的C3至C20环伸烷基基团、经取代或未经取代的C6至C20伸芳基(arylene)基团、经取代或未经取代的C2至C20杂伸芳基基团，或其等之组合，Y1和Y2各自独立为经取代或未经取代的C2至C20烯基基团，n1和n2为0n110及0n210之整数，以及
n1和n2不同时为0。