电浆处理方法及电浆处理装置

主权项

一种电浆处理方法，系使用电浆处理装置来电浆处理试料的电浆处理方法，该电浆处理装置系具备：电浆处理室，其系试料被电浆处理；第一高频电源，其系供给电浆生成用的第一高频电力；及第二高频电源，其系对载置有前述试料的试料台供给第二高频电力，其特征为：藉由第一脉冲来调变前述第一高频电力，在藉由一个或复数的集合体来构成电浆处理条件的步骤的期间内，使前述第一脉冲的负荷比随电浆处理时间的经过逐渐地变化，而使电浆的解离状态能够成为所望的解离状态。