| 主权项 |
一种远红外线感测晶片，用以侦测波长为λ的一远红外线，该远红外线感测晶片包含：一晶圆基底，包括至少一以一积体电路制程制作的电晶体单元，该电晶体单元用以将一电阻变化转换为一电讯号；一内连线单元，利用该积体电路制程形成于该晶圆基底上并包括一远离该晶圆基底的顶面、一由该顶面朝该晶圆基底方向延伸的内环面，及一连接该内环面之一底缘的基面，且该内环面与该基面配合界定出一形成于该内连线单元中的空腔；及一图案化吸收层，藉由该积体电路制程的制作而设置于该内连线单元上且由非晶矽所构成，该图案化吸收层包括一位于该空腔上方的主体部及两连接该主体部并分隔设置的电接脚端部，该等电接脚端部分别与该内连线单元电连接，以将该图案化远红线吸收层因吸收该远红外线而产生的该电阻变化传递至该电晶体单元；其中，自该主体部之一下表面至该内连线单元之基面的一最短距离为(2n+1)λ/4，且n为正整数或零。 |
