太阳能晶圆湿式喷砂制程用扁平式喷嘴

主权项

一种太阳能晶圆湿式喷砂制程用扁平式喷嘴，包括有：一气室部，包括有相互固设之一左室构件及一右室构件，该右室构件具有一进气口构体；一左挡部，系固设于该左室构件上；一右挡部，系固设于该右室构件上；一上盖部，系固设于该左挡部及该右挡部上并具有复数进料口构体；一扁平喷嘴部，包括有相互固设之一左喷嘴构件及一右喷嘴构件，该左挡部固设于该左喷嘴构件上且该右挡部固设于该右喷嘴构件上；以及二挡片，分别固设于该气室部、该左挡部、该右挡部及该扁平喷嘴部之前侧及后侧。