多阶段基板清理方法与设备

主权项

一种基板清理方法，包含下列步骤：对一基板的表面执行一清理材料的第一施加，其中该清理材料包含用以捕获存在于该基板上之污染物的一或多种黏弹性材料；对该基板的表面执行一冲洗流体的第一施加，俾能从该基板的表面冲洗掉该清理材料，并且在该基板的表面上留下该冲洗流体的残留薄膜；对该基板的表面执行该清理材料的第二施加，其中系将该清理材料的第二施加施加至其上具有该冲洗流体之该残留薄膜之该基板的表面；及对该基板的表面执行该冲洗流体的第二施加，俾能从该基板的表面冲洗掉该清理材料。