| 主权项 |
一晶圆传输手臂，系应用于从一晶圆的一面或侧边接触该晶圆以传送该晶圆，其特征在于：该晶圆传输手臂具有一壳体、一连杆机构、一可动式抵持部、以及一承载盘，该承载盘系用以承载该晶圆；该连杆机构包含一组连杆、一组枢轴、一组S型带体、以及一组凸部，该连杆机构系藉由该组枢轴耦合于该壳体之内，该组凸部系设置于该组枢轴，该组S型带体围绕该组枢轴而使该组枢轴向相对方向旋转；该可动式抵持部具有一抵块、一连动推杆与一复位元件，该抵块与该连动推杆相结合，该连动推杆藉由一耦合部耦合于该壳体之内，且其第一端碰触于该枢轴；藉此，当该枢轴旋转而使该凸部抵触到该第一端时，进而推动该连动推杆往第一位置移动且使该抵块接触该承载盘上之该晶圆。 |
