发明名称 | 能控制点测压力之点测系统 | ||
摘要 | |||
申请公布号 | TWI501331 | 申请公布日期 | 2015.09.21 |
申请号 | TW099133488 | 申请日期 | 2010.10.01 |
申请人 | 豪勉科技股份有限公司 | 发明人 | 陈正泰;陈志伟;戴谷芳;李志宏 |
分类号 | H01L21/66 | 主分类号 | H01L21/66 |
代理机构 | 代理人 | 严国杰 台北市大同区承德路1段70之1号6楼 | |
主权项 | 一种能控制点测压力之点测系统,包括:一摆臂,其一端装设有一夹针座,且该夹针座上夹持固定有一点测针;一升降马达,其上设有一承载盘,该承载盘系用以承载一待测物,使该待测物能藉由该承载盘之升降,在该点测针的下方进行上下移动;一感测元件,其能侦测该摆臂的变形量,且产生对应于该变形量的感测数值;及一控制单元,系分别与该感测元件及该升降马达相连接,该控制单元中预设有一门槛值,且该控制单元自该感测元件取得该感测数值,当该控制单元判断该感测数值达到该门槛值时,该控制单元即对该升降马达送出一停止讯号,使该升降马达停止升高该承载盘;当该控制单元判断该感测数值达到该门槛值的一定比例时,该控制单元即对该升降马达送出一减速讯号,使该升降马达降低堆动该承载盘的速率。 | ||
地址 | 台北市大同区承德路1段70号3楼 |