| 摘要 |
<p>Vakuumpumpensystem (4, 5, 6) mit einer Mehrzahl von Vakuumpumpen (P41, P42, P43, P44, P45, P51, P52, P61, P62), die in einer Parallelschaltung miteinander verbunden sind und jeweils mit einer Einlassseite an eine Kammer (40, 50, 60) angeschlossen sind, mit einer Auslassleitung (41, 51, 61), die an die Auslassseite der Vakuumpumpen (P41, P42, P43, P44, P45, P51, P52, P61, P62) angeschlossen ist und einer Zwischenleitung (42, 52), die die Einlassseite von wenigstens einer Vakuumpumpe (P41, P42, P43, P44, P45, P51, P52, P61, P62) mit der Auslassleitung (41) verbindet, dadurch gekennzeichnet, dass während einer Abpumpzeit alle Vakuumpumpen (P41, P42, P43, P44, P45, P51, P52, P61, P62) parallel geschaltet sind und während einer Leerlaufzeit die Einlassseite wenigstens eine der Vakuumpumpen (P41, P42, P43, P44, P45, P51, P52, P61, P62) als eine Vorpumpe</p> |
