发明名称 过大尺寸的中介件
摘要
申请公布号 TWI501372 申请公布日期 2015.09.21
申请号 TW102111117 申请日期 2013.03.28
申请人 吉林克斯公司 发明人 久村俊之
分类号 H01L23/535 主分类号 H01L23/535
代理机构 代理人 阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼;林景郁 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项 一种中介器,其中包含:一第一电路局部,此为回应于一第一印刷范围的一第一对应影像而印刷;以及一第二电路局部,此为回应于一第二印刷范围的一第二对应影像而印刷,并且该第二电路局部邻近该第一电路局部以与其进行互连;其中该中介器具有下列至少一者:(a)大于一对应的最大标线长度维度的一长度维度,该最大标线长度维度系用于产生该长度维度,以及(b)大于一对应的最大标线宽度维度的一宽度维度,该最大标线宽度维度系用于产生该宽度维度;其中该第一印刷范围及该第二印刷范围为依至少一足够大维度成像,藉以避免为印刷靠近该第二电路局部的第一电路局部而进行的光学邻近校正作业;并且其中该第一电路局部和该第二电路局部不包括在该第一电路局部和该第二电路局部之间的晶粒嵌封。
地址 美国