发明名称 液体材料气化装置
摘要
申请公布号 TWI501290 申请公布日期 2015.09.21
申请号 TW097148233 申请日期 2008.12.11
申请人 堀场STEC股份有限公司 发明人 宫本英显;西川一朗
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人 周良谋 新竹市东大路1段118号10楼;周良吉 新竹市东大路1段118号10楼
主权项 一种液体材料气化装置,包含:气液混合部,将液体材料以及载体气体混合;液体材料导入通道,将该液体材料导入该气液混合部;载体气体导入通道,将该载体气体导入该气液混合部;气化喷嘴部,与该气液混合部连通,且使由该液体材料以及该载体气体所构成之混合体减压气化;混合气体导出通道,与该气化喷嘴部连通,且将气化喷嘴部所气化之混合气体导出;旁通道,将该载体气体导入通道以及该混合气体导出通道连通,且将未通过该气化喷嘴部之载体气体从该载体气体导入通道向该混合气体导出通道流动。
地址 日本