主权项 |
一种晶片吸附头,包括:一吸嘴垫,系设有一晶片吸附面及相对该晶片吸附面之一固定面,该晶片吸附面系设有复数个穿孔贯穿该晶片吸附面及该固定面;以及一吸嘴本体,系设有一吸嘴垫吸附面及一抽气通道,该吸嘴垫吸附面设有复数个吸附凹槽并连通至该抽气通道;其中,该固定面系贴合于该吸嘴垫吸附面,该吸嘴本体设有一第一凸出固定部,且该固定面设有与该第一凸出固定部相对应嵌合之一第二凹陷固定部,用以使该固定面贴合于该吸嘴垫吸附面,并使该等吸附凹槽完全覆盖该固定面上之该等穿孔之开口处,使该等穿孔连接该等吸附凹槽并连通至该吸嘴本体之抽气通道。
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