蚀刻剂组合物以及用于蚀刻多层金属膜的方法

主权项

一种蚀刻剂组合物，用于蚀刻一多层金属膜，该多层金属膜包括由铜(Cu)或铜合金组成的一或多个层以及由钼(Mo)或钼合金组成的一或多个层，其中相对于该蚀刻剂组合物的总重量，该蚀刻剂组合物包括：约50wt%至约80wt%的磷酸；约0.5wt%至约10wt%的硝酸；约4wt%至约30wt%的醋酸；约0.5wt%至约6wt%的含氯化合物；以及剩余量的水；其中该由铜或铜合金组成的一或多个层与该由钼或钼合金组成的一或多个层的厚度比在约5：1至约600：1的范围内。