具有过滤器的容器及分配含前驱物流体流之方法

主权项

一种运送来自前驱物材料的含前驱物流体流之容器，该前驱物材料装在该容器内，该容器包含：由顶部、一或更多侧壁及基座界定的内部容积；及至少一供汽化前驱物用的流体出口，及至少一粒子障壁，该至少一粒子障壁界定于该内部容积内的至少一粒子受限空间的至少一部分，其中该至少一粒子障壁包含至少一个三维过滤器，其中该至少一粒子受限空间与该至少一出口流体连通而且与除了与该至少一出口流体连通的至少一粒子受限空间以外的一部分内部容积保持粒子受限流体连通。