具有对称差分电容的微机电元件

主权项

一种具有对称差分电容的微机电元件，包含：一基板，具有一垂直于该基板平面的出平面方向；一上相对电极；一下相对电极；一质量结构，具有沿该出平面方向之移动状态，又具有一上电极与一下电极，分别与该上相对电极和该下相对电极形成一上电容结构与一下电容结构，以感测该移动状态；一上相对电极延伸壁，其上端连接该上相对电极，下端与该基板连接；以及一下相对电极延伸壁，其下端经由该下相对电极连接该基板；其中该下相对电极延伸壁的上端不与该上相对电极连接，且该上相对电极延伸壁和该上相对电极面向于该质量结构之总导电部分表面积和、与该下相对电极延伸壁和该下相对电极面向于该质量结构之总导电部分表面积和，为彼此相当，其中该上相对电极在该出平面方向上位于该质量结构之上方、该下相对电极在该出平面方向上位于该质量结构之下方、该上相对电极延伸壁与该下相对电极延伸壁在该出平面方向上位于该质量结构之侧方。