主权项 |
一种电子零件检查装置,其特征在于包含:电子零件,其系于第1面及上述第1面之相反侧之第2面设置有电极;检查用插座,其系于进行上述电子零件之电性检查时供上述电子零件配置;检查用头部,其系包含固持上述电子零件之固持部、调整上述固持部之位置之位置调整部、及设置于上述固持部且可与由上述固持部所固持之电子零件之第1面电极接触之接触端子,并将上述电子零件搬送配置于上述检查用插座;第1摄像装置,其系对由上述固持部固持前之电子零件之第1面电极进行摄像;第2摄像装置,其系对设置于上述检查用头部之接触端子进行摄像;第3摄像装置,其系对由上述固持部所固持之电子零件之第2面电极进行摄像;第4摄像装置,其系对上述检查用插座进行摄像;及控制装置,其系藉由使上述检查用头部之位置调整部调整上述固持部之位置,而根据由上述第1及第2摄像装置所摄像之图像对上述固持部固持上述电子零件时之固持姿势,以及根据由上述第3及第4摄像装置所摄像之图像对已固持上述电子零件之固持部相对于上述检查用插座之固持姿势分别进行控制。
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