| 发明名称 |
SHIELDED LID HEATER ASSEMBLY |
| 摘要 |
플라즈마 처리 챔버와 함께 이용하기에 적절한 차폐식 리드 히터, 차폐식 리드 히터를 가지는 플라즈마 처리 챔버, 및 플라즈마 처리를 위한 방법이 제공된다. 상기 방법 및 장치는 플라즈마 처리 챔버 내의 플라즈마 장소의 위치 제어를 강화하고, 플라즈마 장소의 제어가 요구되는 다른 분야 중에서, 식각, 증착, 주입, 및 열 처리 시스템에서 이용될 수 있다. 일 실시예에서, 히터 소자가 개재되는 RF 차폐부 및 알루미늄 베이스를 포함하는 차폐식 리드 히터가 제공된다. |
| 申请公布号 |
KR101554123(B1) |
申请公布日期 |
2015.09.18 |
| 申请号 |
KR20107023538 |
申请日期 |
2009.03.19 |
| 申请人 |
어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 |
发明人 |
윌워쓰, 마이클, 디.;파라가시빌리, 데이비드;토도로브, 발렌틴, 엔.;유엔, 스티븐 |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/205;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
