| 摘要 |
가스 에칭 공정이나 플라즈마 다이싱 공정에서 고열이 되어도, 척 테이블에 융착하거나 과도하게 수축하거나 하지 않는, 내열성과 내열수축성을 갖는 반도체 웨이퍼 보호용 점착 테이프를 제공한다. 기재 필름(3)과, 기재 필름(3)의 한 쪽 면에 형성된 점착제층(5)을 갖고, 기재 필름(3)은, 경화한 수지를 포함하는 캐스트 필름층(7)을 점착제층(5)이 형성되지 않은 쪽의 최외층에 갖고, 캐스트 필름층(7)의 택 힘이 200℃에 있어서 100kPa 이하인 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 보호용 점착 테이프(1)를 사용한다. 또한, 기재 필름이, 캐스트 필름층(7)만으로 된 반도체 웨이퍼 보호용 점착 테이프(1a)를 사용해도 좋다. |
