发明名称 ワークピースキャリア
摘要 <p>ワークピースキャリアは、第一の外径、第一の内径及び当該第一の内径から当該第一の外径に向かって第一の距離伸びている第一の凹部を有している第一のプレートを含む。ワークピースキャリアは、第二の外径、第二の内径及び当該第二の内径から当該第二の外径に向かって第二の距離伸びている第二の凹部を有している第二のプレートをさらに含む。第一のプレート及び上記第二のプレートに付属する複数の位置合わせ機構は、上記第一の凹部及び第二の凹部内で、上記第一のプレートと第二のプレートとの間に、第一のワークピースキャリアの位置を選択的に固定するように構成されている。</p>
申请公布号 JP2015527692(A) 申请公布日期 2015.09.17
申请号 JP20150517389 申请日期 2013.06.12
申请人 发明人
分类号 H01J37/317;H01L21/265;H01L21/677;H01L21/683 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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