Werkstück-Einspannvorrichtung mit Temperatursteuerbaueinheit mit Abstandshaltern zwischen Schichten, die einen Zwischenraum für thermoelektrische Module schaffen und Verfahren zum Halten eines Werkstücks

摘要

Werkstück-Einspannvorrichtung (10, 100, 300, 400) zum Halten eines Werkstücks, die umfasst: eine obere Oberfläche, auf der das Werkstück angebracht werden kann; und eine Temperatursteuerbaueinheit, die mit der oberen Oberfläche in thermischer Verbindung steht, um die Temperatur des Werkstücks zu steuern, wobei die Temperatursteuerbaueinheit umfasst: eine obere Schicht (12), eine untere Schicht (14), wenigstens ein thermoelektrisches Modul (24), das zwischen der oberen Schicht (12) und der unteren Schicht (14) der Temperatursteuerbaueinheit angeordnet ist; und wenigstens einen Abstandshalter (28, 128) zwischen der oberen Schicht (12) und der unteren Schicht (14) der Temperatursteuerbaueinheit, wobei der wenigstens eine Abstandshalter (28, 128) die obere Schicht (12) und die untere Schicht (14) der Temperatursteuerbaueinheit vertikal so beabstandet, dass das wenigstens eine thermoelektrische Modul (24) in einem Raum zwischen der oberen Schicht (12) und der unteren Schicht (14) der Temperatursteuerbaueinheit in einer unstarren Art und Weise eingefasst ist und eine vertikale Ausdehnung des Raumes, in dem das thermoelektrische Modul (24) eingefasst ist, durch eine vertikale Größe des Abstandshalters (28, 128) vorgegeben ist.