顕微鏡検査撮像システムにおいて対物レンズの焦点位置を決定するためのシステム、方法、およびデバイス

摘要

顕微鏡検査撮像システムにおいて試料ホルダの測定場所に位置付けられた対物レンズに対する焦点位置を決定するシステムおよび方法が、提供される。対物レンズは、対物レンズと試料ホルダとの間の距離に対応する、試料ホルダに対する位置に移動される。試料ホルダは、調整された上側表面を有する。集束光ビームは、対物レンズが位置にあるとき、試料ホルダ上に投影され、対物レンズは、集束光ビームを試料ホルダ上に集束させる。調整された上側表面からの集束光ビームの反射から生じる反射光ビームが、観察される。対物レンズに対する焦点位置は、対物レンズが焦点位置に位置している場合、対物レンズが顕微鏡検査試料の焦点画像を生成するように、反射光ビームに基づいて決定される。