| 摘要 |
<p>Detektor und Kombinationsdetektor für die Elektronenmikroskopie zum Charakterisieren einer Sekundärstrahlung an einem Probenabschnitt einer elektronenmikroskopisch untersuchten Probe, wobei der Detektor auf den Probenabschnitt ausrichtbar ist, umfassend:–einen ersten Sensor, umfassend zumindest eine erste Sensorfläche, die eingerichtet ist, eine Sekundärstrahlung, umfassend eine Anzahl Elektronen, die von der Probe rückgestreut werden zu erfassen und als ein BSE-ähnliches Signal auszugeben;–einen zweiten Sensor, umfassend zumindest eine zweite Sensorfläche, die eingerichtet ist, eine Sekundärstrahlung, umfassend eine Energie einer von der Probe ausgehenden Röntgenstrahlung zu erfassen und als ein EDX-Signal auszugeben; wobei–der erste Sensor und der zweite Sensor zueinander benachbart und im Wesentlichen radialsymmetrisch und/oder parallel zu einer Symmetrieachse des Detektors angeordnet sind;–die zumindest eine erste Sensorfläche und/oder weitere erste Sensorflächen zwischen dem Probenabschnitt und einer Ebene, in der die zumindest zweite Sensorfläche liegt, anordenbar ist bzw. sind, wenn der Detektor zum Charakterisieren der Sekundärstrahlung auf den Probenabschnitt ausgerichtet wird, wobei die Sekundärstrahlung unter Einwirkung einer auf den Probenabschnitt fokussierten Primärstrahlung erzeugbar ist.</p> |
