| 摘要 |
<p>OLED 제조용 인라인 증착장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 OLED 제조용 인라인 증착장치는, 기판에 대한 증착공정이 진행되는 챔버 내의 상부 영역에서 이격공간을 사이에 두고 배치되는 격벽; 챔버 내의 하부 영역에 배치되며, 이격공간 쪽으로 증발 물질을 제공하여 기판을 증착시키는 증발 소스; 격벽에 이웃하게 배치되고 이격공간을 선택적으로 개폐하는 셔터; 및 챔버 내에 마련되며, 증발 소스를 제외한 챔버 내의 다른 영역에서 기판으로 전달되는 열을 차단하는 열 차단부를 포함한다.</p> |
