发明名称 Transportanordnung, Prozessieranordnung und Verfahren zum Betreiben einer Prozessieranordnung
摘要 <p>Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Prozessieranordnung (200) Folgendes aufweisen: eine Prozessierkammer (202) mit mindestens einem Prozessierbereich (202b) zum Prozessieren eines Bandsubstrats, eine in der Prozessierkammer (202) angeordnete Transportanordnung (100) mit mehreren Rollen zum Transportieren eines Bandsubstrats durch den Prozessierbereich (202b) hindurch, wobei die Transportanordnung (100) derart eingerichtet ist, dass eine Rolle (102L) der mehreren Rollen entgegen einer rücktreibenden Kraft (111f, 111g) verschiebbar ist, so dass die Rolle (102L) von einem durch den Prozessierbereich (202b) hindurch transportierten Bandsubstrat verschoben (113) wird, und so dass das Bandsubstrat aufgrund der rücktreibenden Kraft mittels der Rolle in dem Prozessierbereich (202b) gespannt (115) wird.</p>
申请公布号 DE102014103552(A1) 申请公布日期 2015.09.17
申请号 DE201410103552 申请日期 2014.03.14
申请人 VON ARDENNE GMBH 发明人 HENTSCHEL, MICHAEL
分类号 C23C14/56;B65H20/34;C23C16/54 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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