| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung stellt einen Träger bereit, der in einer doppelseitigen Poliervorrichtung so verwendet wird, dass der Träger zwischen oberen und unteren Drehscheiben angeordnet ist, an denen Polierkissen in der doppelseitigen Poliervorrichtung angebracht sind, und einen Wafer hält, der zwischen den oberen und unteren Drehscheiben in einem Halteloch eingeschoben ist, das im Träger während des Polierens ausgebildet ist, umfassend obere und untere Hauptoberflächenabschnitte, die aus einerβ-Titanlegierung bestehen, die aus reinem Titan, das 0,5 Gew.% oder mehr einesβ-Stabilisierungselements beinhaltet, gewonnen wird. Der Träger weist eine hohe Abriebfestigkeit auf und kann seine Kosten reduzieren.</p> |
