収着装置において作動媒体を回収する回収容器及び方法

摘要

本発明は収着装置に関する。不活性ガスが流出する際に漏出する作動媒体が回収容器１において回収される。上記作動媒体は、回収容器から、収着装置の回収容器とは異なる部分に返還することができる。本発明は更に、作動媒体を回収する方法、及び、作動媒体を回収するとともに作動媒体を収着プロセスに向けて返還する回収容器の使用に関する。【選択図】図３